元能微电子科技​南通有限公司
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单晶制绒机

[特点 ]

适用于高效电池 PERC & TOPCon 的碱制绒

对电池片进行制绒、清洗

独有设计,药液使用寿命长

机械手分配合理,有效避免药液交叉污染和反应超时

所有与液体接触材料优化升级,避免材料使用杂质析出

高产能、低运营成本

具备 MES接口

链式去PSG清洗机

[特点 ]

适用于高效电池 PERC & TOPCon 单面清洗

用于去除 PSG/BSG

高均匀性,超长药液寿命

高产能

低运营成本

在线换液

槽式碱抛机

[特点]

适用于高效电池 PERC & TOPCon 的碱抛光
用于硅片的抛光刻蚀、清洗处理
洁净区域干燥,自洁净系统
机械手分配合理,有效避免药液交叉污染和槽体反应超时
所有与液体接触材料优化升级,避免材料使用杂质析出
高产能、低运营成本
具备 MES接口

辅助清洗机

[特点]

适用于高效电池 PERC & TOPCon辅助清洗
高产能、低运营成本
灵活的工艺流程
高效的冲洗和烘干
稼动率可达98 %